塑料真空鍍膜設(shè)備促進(jìn)真空鍍膜產(chǎn)品的普遍使用

[文]塑料真空鍍膜設(shè)備的發(fā)展非?？臁ｋS著生產(chǎn)率的提高，生產(chǎn)成本大大降低，為真空鍍膜產(chǎn)品的廣泛應(yīng)用鋪平了道路。以卷繞式真空鍍膜機(jī)為例，顯影時(shí)可鍍的薄膜基材為0mm，現(xiàn)已達(dá)到2253mm。基材輥的最大輥直徑為1000mm，最大卷繞速度為750m / min。具有自動(dòng)上下料的半連續(xù)卷繞真空鍍膜機(jī)占總循環(huán)時(shí)間的75％，輔助操作時(shí)間僅占25％。從大氣到大氣的更高效的卷對(duì)卷真空鍍膜機(jī)于1977年銷(xiāo)售。隨著測(cè)量技術(shù)，控制技術(shù)和電子計(jì)算機(jī)應(yīng)用的進(jìn)步，卷對(duì)卷真空鍍膜機(jī)正朝著這個(gè)方向發(fā)展高自動(dòng)化和高可靠性?？梢酝ㄟ^(guò)滾涂真空涂布機(jī)沉積的涂層的厚度范圍為0.01至0.2μm，m，可以在該范圍內(nèi)選擇，并且一些涂層也可以涂覆多層膜以滿(mǎn)足各種需要。該日本專(zhuān)利提出了一種輥式氣相沉積裝置，其沉積兩種不同的涂層材料。該裝置的真空室（6）分為上室（7），左下室（8）和右下室（9）。在蒸發(fā)過(guò)程中，由兩個(gè)蒸發(fā)源（19,23）蒸發(fā)的涂層材料（21,25）分別沉積在塑料薄膜（11）上，輝光放電發(fā)生器安裝在塑料薄膜不在的一側(cè)。氣相沉積（，16）。發(fā)生器產(chǎn)生的輝光放電氣體可防止塑料薄膜起皺。使用該裝置，可以在非常薄的塑料薄膜上涂覆無(wú)皺的多層薄膜，用于帶和薄膜太陽(yáng)能電池。該裝置的示意圖如圖1所示。圖1改進(jìn)的繞線(xiàn)型氣相沉積裝置近年來(lái)，高速低溫濺射方法得到迅速發(fā)展，并且高熔點(diǎn)金屬的沉積如鉻，鈦，鎢，鉬等是可能的。已經(jīng)投入使用直徑為1400mm，高度為2,200mm的大型鐘罩式濺射涂布機(jī)和長(zhǎng)度為mm，寬度為7.6mm的大型串聯(lián)濺射涂布機(jī)。最近，日本專(zhuān)利提出了一種輥式濺射鍍膜機(jī)，它可以鍍兩種非定向涂層材料，并在第一濺射區(qū)和第二濺射區(qū)之間安裝一個(gè)溫度控制裝置（），以加強(qiáng)基板的冷卻。當(dāng)涂層較厚并且沉積速度較快時(shí)，基板不會(huì)卷曲和變形。該裝置的示意圖如圖1所示。真空室（1）設(shè)有濺射靶（4a，4b）和陽(yáng)極（14a，14b），兩個(gè)靶分別連接到DC電源（5a）。 ，5b）濺射塑料薄膜（8）。輥（11a，11b，11c）具有各自的冷卻溫度。